上海半導(dǎo)體裝備制造公司轉(zhuǎn)讓項(xiàng)目，項(xiàng)目公司是中國(guó)少數(shù)幾家具有世界領(lǐng)先技術(shù)及工藝的半導(dǎo)體裝備制造商之一，擁有先進(jìn)的獨(dú)家技術(shù)晶圓無(wú)應(yīng)力拋光技術(shù)、相關(guān)專(zhuān)利158項(xiàng)，專(zhuān)利獲中國(guó)、美國(guó)、日本、新加坡等多國(guó)授權(quán)。上海半導(dǎo)體裝備制造公司轉(zhuǎn)讓?zhuān)D(zhuǎn)讓底價(jià)9565.56萬(wàn)元。

　　一、項(xiàng)目公司基本情況

　　半導(dǎo)體裝備制造公司轉(zhuǎn)讓項(xiàng)目，項(xiàng)目公司盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司成立于2005年5月17日，注冊(cè)資本21312.495萬(wàn)元。經(jīng)營(yíng)范圍設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、加工電子專(zhuān)用設(shè)備及其零部件，銷(xiāo)售公司自產(chǎn)產(chǎn)品，并提供售后技術(shù)服務(wù)和咨詢(xún)服務(wù)。

　　上海半導(dǎo)體裝備制造公司轉(zhuǎn)讓項(xiàng)目，項(xiàng)目公司擁有全資子公司盛美半導(dǎo)體設(shè)備(無(wú)錫)有限公司，成立于2011年7月14日，注冊(cè)資本500萬(wàn)元。

　　上海創(chuàng)業(yè)投資有限公司所持盛美半導(dǎo)體體設(shè)備(上海)有限公司18.77%的股權(quán)，已于2017年6月29日完成轉(zhuǎn)讓交割，受讓方為美國(guó)ACM Research Inc.。目前正在辦理工商變更手續(xù)。

　　二、項(xiàng)目公司產(chǎn)品

　　(一)清洗設(shè)備

　　擁有有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的兆聲波單片清洗設(shè)備。它主要有三部分組成：機(jī)械前端模塊，包括機(jī)械手、loadport等;液體供應(yīng)模塊，包括液體供給流量控制系統(tǒng)等;以及工藝加工模塊，包括清洗腔以及兆聲波能量發(fā)生器。具有極高的顆粒去除效率，并且可以控制硅片表面的能量密度均勻的分布以去除“hot spots”，達(dá)到對(duì)器件的無(wú)損傷清洗。同時(shí)，所有的化學(xué)清洗液均可單獨(dú)回收循環(huán)利用。主要應(yīng)用于：集成電路工藝相關(guān)濕法清洗，濕法蝕刻工藝， 晶圓制造拋光后，外延前后清洗，先進(jìn)封裝領(lǐng)域(TSV)深孔清洗，濕法蝕刻，濕法去膠等。

　　(二)晶圓級(jí)封裝系統(tǒng)

　　包含涂層系統(tǒng)、開(kāi)發(fā)系統(tǒng)、電鍍系統(tǒng)等，該系統(tǒng)采用先進(jìn)的組件模塊等高精度硅片傳輸系統(tǒng)，優(yōu)秀的風(fēng)機(jī)過(guò)濾器和排氣裝置，以及各室的過(guò)程獨(dú)立于環(huán)境的控制。這些模塊被設(shè)計(jì)為易于使用而提供所需的涂層厚度和均勻性。容易定制軟件還使得工具很容易地集成到生產(chǎn)線(xiàn)。所有的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)都裝有化學(xué)循環(huán)和過(guò)濾系統(tǒng)服務(wù)重用的化學(xué)品，減少浪費(fèi)和降低用戶(hù)的成本。

　　(三)無(wú)應(yīng)力拋光集成設(shè)備

　　該設(shè)備能夠?qū)?5nm及以下的銅互聯(lián)結(jié)構(gòu)進(jìn)行無(wú)應(yīng)力、無(wú)損傷拋光。該設(shè)備整合了無(wú)應(yīng)力拋光技術(shù)(SFP)、熱氣相蝕刻技術(shù) (TFE)以及低下壓力化學(xué)機(jī)械平坦化技術(shù)(ULDCMP)，利用其各自獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)，確保在整個(gè)拋光過(guò)程中對(duì)銅互連結(jié)構(gòu)無(wú)任何損傷。基于智能拋光系統(tǒng)，該系統(tǒng)整合了晶圓運(yùn)動(dòng)控制、智能拋光電源和拋光液供應(yīng)系統(tǒng)，因?yàn)橹挥袙伖庖号c銅互聯(lián)結(jié)構(gòu)表面接觸，無(wú)應(yīng)力拋光工藝能夠控制全局銅膜膜厚和凹陷，不產(chǎn)生侵蝕以及介質(zhì)層與阻擋層也不會(huì)產(chǎn)生形變。最終消除由機(jī)械應(yīng)力對(duì)銅/超低k介質(zhì)產(chǎn)生的損傷，有效解決銅/超低k介質(zhì)互聯(lián)的整合問(wèn)題。

　　上海半導(dǎo)體裝備制造公司轉(zhuǎn)讓項(xiàng)目，項(xiàng)目公司將重點(diǎn)發(fā)展先進(jìn)封裝領(lǐng)域相關(guān)濕法設(shè)備，清洗設(shè)備，濕法去膠設(shè)備，濕法蝕刻設(shè)備，涂膠設(shè)備，顯影設(shè)備等產(chǎn)品。

　　三、項(xiàng)目公司投資價(jià)值分析

　　(一)技術(shù)優(yōu)勢(shì)

　　上海半導(dǎo)體裝備制造公司轉(zhuǎn)讓項(xiàng)目，項(xiàng)目公司盛美公司通過(guò)技術(shù)革新獨(dú)創(chuàng)的晶圓無(wú)應(yīng)力拋光技術(shù)，目前在全世界無(wú)直接競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，連應(yīng)用材料公司等世界前三大半導(dǎo)體設(shè)備商和IBM和Intel等公司都未能掌握。盛美自主研發(fā)的鍍銅設(shè)備、單片晶圓清洗設(shè)備也都達(dá)到了國(guó)際一流水平，并已進(jìn)入樣機(jī)銷(xiāo)售階段。擁有相關(guān)專(zhuān)利158項(xiàng)。

　　(二)市場(chǎng)前景

　　從全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)來(lái)看，中國(guó)市場(chǎng)的地位正在崛起，未來(lái)一半以上集成電路市場(chǎng)在中國(guó)。而國(guó)家近年來(lái)對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力推動(dòng)，也讓本土半導(dǎo)體企業(yè)看到了機(jī)會(huì)所在。

　　(三)客戶(hù)眾多

　　上海半導(dǎo)體裝備制造公司轉(zhuǎn)讓項(xiàng)目，項(xiàng)目公司客戶(hù)有SK海力士、上海晶盟硅材料、臺(tái)灣合晶集團(tuán)、上海華虹 NEC 電子有限公司、中科院微電子所等。

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