研發(fā)團(tuán)隊(duì)開發(fā)了磁控濺射技術(shù),可明顯改進(jìn)納米結(jié)構(gòu)硅-鍺合金和碳化硼薄膜材料的合成,高沉積率產(chǎn)生高結(jié)晶度,從而實(shí)現(xiàn)更高密度的薄膜材料。新技術(shù)顯著提高了材料的熱電轉(zhuǎn)換效率。
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